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南宫NG28上;;竦门分抟患胰蛐园氲继逯圃焐痰牡テ琒APS兆声波洗濯装备采购订单
“南宫NG28半导体装备研发与制造中心”厂房A封顶大吉
南宫NG28上海首台前道ArF工艺涂胶显影装备Ultra LITH顺遂出机
湿法装备出货量再立异高,,,,突破三千腔大关
庆祝南宫NG28上海ECP装备500电镀腔顺遂交付!
南宫NG28上海前道铜互连电镀装备荣获第五届“集成电路工业手艺立异奖”