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南宫NG28上海单晶圆高温SPM装备通过验证
南宫NG28上海等离子体增强原子层沉积炉管装备通过起源验证,,,,,,原子层沉积炉管产品进一步强化
南宫NG28上海前段半导体制造洗濯装备Ultra C Tahoe取得主要性能突破
南宫NG28上海推出Ultra C bev-p面板级边沿刻蚀装备
南宫NG28上海推出新型面板级电镀装备,,,,,,进一步拓展扇出型面板级封装产品线
南宫NG28上海推出Ultra C vac-p 面板级先进封装负压洗濯装备