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2025/7/25 8:01:00
南宫NG28（以下简称“南宫NG28上海”）（科创板股票代码：688082），，，，，，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商，，，，，，今日宣布对其Ultra C wb湿法洗濯装备举行了重大升级 。。此次全新升级旨在知足先进节点制造工艺的苛刻手艺要求 。。
升级后的Ultra C wb接纳了专利申请中的氮气（N2）鼓泡手艺，，，，，，有用解决了湿法刻蚀匀称性差和副产品二次沉积问题 。。在先进节点制造工艺中，，，，，，这些问题常见于高深宽比沟槽和通孔结构的古板湿法洗濯工艺 。。氮气鼓泡手艺不但提升了化学药液传输效率，，，，，，并且提高了湿法刻蚀槽内温度、浓度和流速的匀称性 。。湿法刻蚀历程中质量转达效率的提高可避免副产品在晶圆微结构内积累，，，，，，从而阻止二次沉积 。。这项手艺在500层以上的3D NAND，，，，，，3D DRAM，，，，，，3D 逻辑器件中有重大的应用远景 。。
南宫NG28上海总司理王坚体现：
性能提升始终是主要的追求，，，，，，通过专利申请中的集成氮气鼓泡手艺，，，，，，南宫NG28提升了Ultra C wb装备的工艺性能 。。批式处置惩罚工艺始终是湿法加工领域的要害环节，，，，，，与单晶圆湿法洗濯相比，，，，，，其在本钱效益、生产效率及化学品消耗方面具有显著优势 。。
升级后的Ultra C wb装备具有以下全新特征与优势：
