南宫NG28

南宫NG28上海首次获得 Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯装备的采购订单

2023-3-28 12:40:28

南宫NG28

    南宫NG28(以下简称“南宫NG28上海”)（科创板股票代码：688082），， ，，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商，， ，，今宣布公司首次获得Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯装备的采购订单。。。。。。该平台还可设置南宫NG28上海自主研发的空间交变相位移（SAPS）洗濯手艺，， ，，在不损伤器件的条件下实现更周全的洗濯。。。。。。该订单来自中国领先的碳化硅衬底制造商，， ，，预计将在2023年第三季度末发货。。。。。。

    碳化硅衬底用于功率半导体制造，， ，，而功率半导体被普遍应用于功率转换、电动汽车和可再生能源等领域。。。。。。碳化硅手艺的主要优势包括更少的开关能量消耗、更高的能量密度、更好的散热，， ，，以及更强的带宽能力。。。。。。汽车和可再生能源等行业对功率半导体需求的增添，， ，，推动了碳化硅器件市场的增添。。。。。。凭证Yole Dévelopment的数据，， ，，阻止2026年，， ，，该市场预计将凌驾40亿美元1。。。。。。

    南宫NG28上海董事长王晖博士体现：“功率半导体市场增添势头强劲，， ，，电动汽车市场和相关基础设施的安排如火如荼。。。。。。这份订单批注晰南宫NG28上海在先进半导体晶圆制造装备方面的履历，， ，，也可用于知足碳化硅衬底制造的奇异要求。。。。。。我们仍然致力于富厚南宫NG28产品组合，， ，，以掌握更多的市场时机。。。。。。”

关于Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯装备

    南宫NG28上海的该Ultra C SiC 碳化硅衬底洗濯装备使用SC1（氨水/双氧水混淆药液）、SC2（盐酸/双氧水混淆药液）、DHF（稀氢氟酸）及其他化学举行洗濯工艺，， ，，并可选配公司自主研发的Smart Megasonix手艺进一步优化洗濯效果。。。。。。该装备兼容6英寸和8英寸，， ，，每小时可达70多片晶圆的产能，， ，，并且已举行了升级优化，， ，，可阻止薄且易碎的碳化硅衬底的碎片。。。。。。


1.https://www.semiconductor-today.com/news_items/2021/jul/yole-230721.shtml
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