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2021-12-2 17:30:34
南宫NG28上海自创的空间交变相位移（SAPS）晶圆洗濯手艺 ，，在兆声波爆发器和晶圆之间的间隙中接纳兆声波的交替相位转变 ，，与前几代兆声波晶圆洗濯装备中使用的牢靠兆声波爆发器差别 ，，SAPS手艺能够在晶圆旋转时移动或倾斜爆发器 ，，使兆声波能量匀称地转达到晶圆（纵然晶圆有翘曲）上的所有点。。SAPS工艺比古板兆声波洗濯工艺更高效 ，，不会造成质料损失或影响晶圆外貌粗糙度 ，，可实现更彻底、更周全的清洁。。该手艺已在1xnm DRAM装备及其他设惫亓到验证。。
