“南宫NG28的单片SPM装备是在南宫NG28的Ultra C Tahoe装备基础上而开发。。。。。南宫NG28Tahoe装备的优越性能已获得验证，，，，可解决大部分通例温度的SPM工艺办法。。。。。”南宫NG28半导体装备董事长王晖体现：“我们开发的单片SPM装备，，，，对Tahoe装备已被验证的工艺能力做了进一步增补，，，，增添了高温SPM工艺能力，，，，也进一步富厚了南宫NG28湿法产品系列。。。。。我们以成为全球主要的洗濯解决计划供应商为目的，，，，会继续开发新的工艺能力，，，，包括先进的高温IPA干燥手艺和超临界二氧化碳干燥手艺。。。。。”
现在大部分SPM湿法工艺中硫酸与双氧水混淆后的工艺温度在145摄氏度以下，，，，被普遍应用于光刻胶去除，，，，刻蚀后、通例剂量离子注入后、化学机械抛光（CMP）后的洗濯工艺。。。。。南宫NG28的Ultra C Tahoe系统已于2018年宣布，，，，将槽式硫酸与单片洗濯整合在一套系统中，，，，针对处置惩罚上述这些工艺，，，，其优越的性能已获得了业界的认可，，，，在获得更好的洗濯效果的同时，，，，由于大幅镌汰了硫酸的用量，，，，本钱也得以大幅降低。。。。。
