南宫NG28

南宫NG28半导体首台洗濯装备入驻芯物科技！

2021-6-15 14:23:23

南宫NG28

     2021年6月7日， ，，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺装备搬入仪式在新傲工厂举行， ，，南宫NG28首台洗濯装备入驻芯物科技！
   
    据国家智能传感器立异中心认真人在致辞时先容， ，，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的装备均接纳国产装备， ，，为国产装备提供验证平台， ，，加速传感器工业链国产化， ，，实现自主可控。。。。。。
   
    王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起生长的时机， ，，我代表南宫NG28向芯物科技体现衷心的谢谢！在这个充满时机与挑战的时代， ，，期待未来和芯物科技一起， ，，开发一些全球领先的差别化特色工艺和装备， ，，把中国的MEMS做到天下前线！”
   
    南宫NG28本次进驻芯物科技的装备为前道刷洗装备， ，，该装备接纳单片腔体对晶圆正背面依工序洗濯， ，，可举行包括晶圆背面刷洗、晶圆边沿刷洗、正背面二流体洗濯等洗濯工序。。。。。。装备占地面积小， ，，产能高， ，，稳固性强， ，，多种洗濯方法无邪可选， ，，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。。。。。。

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