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2021-1-13 10:38:43
2021年1月8日 ，，南宫NG28半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12寸单晶圆薄片洗濯装备已通过厦门士兰集科量产要求 ，，提前验收！该装备于2020年5月20日作为首批装备之一搬入工厂 ，，从正式装机到应用于产品片生产 ，，只用了18天的时间 ，，原定一年的验证期仅用了6个月即顺遂完成验收！
装备搬入厦门士兰集科
南宫NG28新款12寸单晶圆薄片洗濯装备 ，，是一款高产能的四腔系一切 ，，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺 ，，以消除晶圆应力、并举行外貌洗濯等。。。。该系统的传输及工艺模？？槲」杵陌崴图肮ひ沾χ贸头Ｌ峁┝擞杏玫慕饩黾苹 ，，基于伯努利效应 ，，该系统在传输与工艺中 ，，与晶圆外貌完全无接触 ，，消除由接触带来的机械损伤 ，，提高器件的良率。。。。通过差别的设定 ，，该系统可适用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等差别厚度的晶圆；；；；；；通过接纳差别的化学药液组合 ，，该系统可拓展应用于洗濯、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。。。。
南宫NG2812寸单晶圆薄片洗濯装备
南宫NG28半导体12寸单晶圆薄片洗濯装备的快速投入量产使用并提前乐成验收是南宫NG28与海内量产客户团队的细密相助效果。。。。在本次验收历程中 ，，海内量产客户团队对该装备给予了鼎力大举支持和资助 ，，通过双方的配合起劲 ，，最终装备的可靠性、稳固性及工艺能力在短时间内抵达验收标准。。。。作为南宫NG28半导体2020年推出的主要新产品之一 ，，该装备的顺遂验收不但为两个团队积累了名贵履历 ，，也对推动该装备在功率器件新兴市场的推广具有主要意义 ，，更为以后南宫NG28洗濯装备手艺提升、营业拓展提供坚实包管。。。。
